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田民波等编译。
机械工业出版社1991年3月版。334.5万字。2册。
据日文版《薄膜手册》和《薄膜制造、评价及应用技术手册》编译而成。
上册包括薄膜制备工艺,薄膜性能检测;下册为薄膜技术的应用。书中有大量数据和图表。
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