O002346　薄膜物理

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薛增泉等编著。

电子工业出版社1991年9月版。42万字。分绪论和14章。

绪论介绍薄膜研究的历史、制备技术、理论研究及几个主要薄膜的情况。

第一至九章讨论薄膜物理的基础知识，包括薄膜生长中的微观结构研究，薄膜的沉积、成核和生长，薄膜结构和成分的实验研究方法，薄膜的非理想情况、缺陷和改性，薄膜界面和薄膜间的相互扩散，薄膜的能带结构和界面对能带的影响，薄膜的表面原子结构和电子结构，薄膜的尺寸效应，薄膜的导电特性。第十至十四章讨论较重要的几种薄膜的制备、生长过程、结构特征及各种特性，包括非晶薄膜、多晶薄膜、金属微粒-绝缘体薄膜、金属微粒-半导体薄膜、单晶薄膜等。