在一般工厂中曾经发生过由工艺设备引起的火灾和爆炸事故，但这种现象并不普遍。使用油润滑的往复式压缩机出现过事故。油成为燃料，当空气压缩机中空气受到绝热压缩会产生高温而引燃油甚至产生油雾爆轰。
有时由于反应器观察孔玻璃破裂而使有机蒸气泄出。当用软管输送液化可燃气体时，也会由于软管破裂或连接器的松动产生泄漏，这些原因都可能导致爆炸。
工艺设备发生爆炸的原因最主要的是温度突然上升，压力突然升高以及化学反应失控。
1987年10月19日山西某化肥厂违章作业，检修时在煤气发生炉集气包的出气阀上加了一块盲板，焊完后未将盲板抽掉，点火后又未检查，结果由于出气阀堵死，造成严重超压而引起爆炸。
有时加料速度过快也会引起反应温度突然升高，因此工艺设备的爆炸与操作条件有密切关系。防止工艺设备的爆炸主要是防止反应失控。